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1.接觸式膜厚儀

接觸式涂層測厚儀的傳感器部分通過電纜與測厚儀主體相連，通過將傳感器部分接觸被測物體來測量涂層厚度。接觸式涂層厚度計包括電磁感應、渦流、超聲波和觸針類型。這是最正統的涂層測厚儀，根據性能不同，售價在幾萬日元到二十萬日元左右。

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接觸式薄膜厚度計使用方便；只需將傳感器放在要測量的材料上即可顯示讀數。但是，由于反應速度因物質而異，您可能需要等待幾秒鐘才能讓傳感器做出反應。當使用電磁感應和渦流接觸式厚度計時，所使用的類型必須取決于進行測量的基材。

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電磁感應式用于鋼鐵等磁性材料，渦流式用于鋁、不銹鋼等非磁性材料。還提供使用兩種方法的雙重類型，允許您測量磁性和非磁性材料。

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2.非接觸式涂層測厚儀

非接觸式薄膜厚度計通過從計體發射光并檢測從薄膜表面反射的光的波長與穿透薄膜的光的干涉作為光譜來測量薄膜厚度。基本上用于人類無法觸及的地方，有光譜反射式、紅外式、電容式、輻射式三種類型。由于檢測部分采用高精度的半導體元件，因此價格比接觸式要高。

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3. 截面觀察型膜厚儀

截面觀察型膜厚計采用TEM、SEM等電子顯微鏡。它用于測量無法使用接觸式或非接觸式方法測量的極小物體。但它通常用于研究和技術開發，在現場很少被采用。