用于光譜控制的棱鏡擴束裝置精密裝調特性分析

線寬壓窄模塊是光刻用準分子激光器的重要組成部分。線寬壓窄模塊中棱鏡組及光柵的裝配角度直接影響系統輸出特性。為了進一步改進準分子激光器線寬壓窄模塊工程化安裝與調試工藝,研究了棱鏡擴束器中棱鏡角度偏差對系統線寬及能量的影響。通過理論推導及實驗驗證,分析了單個棱鏡角度偏轉對準分子激光系統線寬及能量的影響,確定了每個棱鏡的裝調誤差;實驗結果與理論分析結果基本符合。根據確定的裝調誤差優化設計線寬壓窄模塊的裝調方法,對模塊的光譜控制工程化具有一定的指導意義。